Το πρώτο αθηναϊκό δικαστήριο ήταν ο Άρειος Πάγος. Σύμφωνα με την παράδοση συστήθηκε όταν ήταν βασιλιάς ο Δημοφώντας, ο γιος του Θησέα, και είχε ως αρμοδιότητα να δικάζει τα σοβαρά εγκλήματα, όπως ήταν ο φόνος εκ προμελέτης (φόνος εκ προνοίας). Σύμφωνα με μία άλλη παράδοση, αναφερόμενη από τον Ελλάνικο, το όνομα του Αρείου Πάγου προερχόταν από τη δίκη και την αθώωση του θεού Άρη για τη δολοφονία του Αλιρρόθιου, γιου του Ποσειδώνα. Εκεί δικάστηκε και ο Ορέστης για το φόνο της μητέρας του και ύστερα από ισοψηφία αθωώθηκε χάρη στην ψήφο της θεάς Aθηνάς. Έκτοτε, η ισοψηφία σε περιπτώσεις φόνου θεωρούνταν αθωωτική για τον κατηγορούμενο. Αναμφίβολα ο Άρειος Πάγος προήλθε από την αρχική βουλή των γερόντων η συμμετοχή στην οποία αποτελούσε προνόμιο των ευγενών. Στην Αρχαϊκή περίοδο είχε οριστεί να συμμετέχουν όλοι όσοι είχαν διατελέσει άρχοντες στο παρελθόν.

Στην εποχή της βασιλείας του Δημοφώντα αποδίδεται και ο σχηματισμός του σώματος των εφετών, αν και γι' αυτούς γίνεται λόγος για πρώτη φορά στους νόμους του Δράκοντα. Οι εφέτες ήταν 51, αλλά δεν είναι σαφές αν αποτελούσαν ταυτόχρονα και μέλη του Αρείου Πάγου ή αν πρόκειται για ένα εντελώς ξεχωριστό σώμα. Στην αρμοδιότητά τους βρίσκονταν ορισμένες υποθέσεις φόνου που δεν εκδικάζονταν από τον Άρειο Πάγο. Aνάλογα με την περίσταση συνεδρίαζαν σε διαφορετικό μέρος. Για δίκες ακουσίου φόνου, απόπειρας φόνου και φόνου μετοίκου, ξένου ή δούλου συνεδρίαζαν στο Παλλάδιο του Φαλήρου. Στις περιπτώσεις που ο δράστης υποστήριζε ότι επρόκειτο για δίκαιο φόνο, συνεδρίαζαν στο ναό του Απόλλωνα Δελφινίου. Όποιος, ενώ ήταν ήδη εξόριστος για άλλο φόνο, αντιμετώπιζε νέα κατηγορία φόνου, δικαζόταν στη Φρεαττύδα. Οι εφέτες στέκονταν στην ακτή και ο κατηγορούμενος σε ένα πλοίο, για να μη μολύνει την πόλη. Τέλος, στο Πρυτανείο εκδικάζονταν υποθέσεις κατά άψυχων αντικειμένων που είχαν προξενήσει το θάνατο κάποιου ή όταν γενικά ο δράστης ήταν άγνωστος. Η εκδίκαση όμως τέτοιων υποθέσεων δεν ήταν στην αρμοδιότητα των εφετών αλλά των πρυτάνεων (Αριστοτέλης, Αθηναίων Πολιτεία 57.3-4).

Παράλληλα δημιουργήθηκε και το αξίωμα του θεσμοθέτη. Ο θεσμός στην Αρχαιότητα ήταν μία κατηγορία γενικότερη από το νόμο και όχι απαραίτητα διατυπωμένη σε οριστική (γραπτή) μορφή. Η ισχύς των θεσμών πήγαζε από την πεποίθηση ότι ήταν πανάρχαιοι απαράβατοι κανόνες, συνυφασμένοι με τις πρώτες κοινωνίες που είχαν δημιουργηθεί από μόνιμα εγκατεστημένους γεωργούς. Η παράβασή τους επέφερε από απλές κατάρες (αραί) μέχρι αποκλεισμό και εκδίωξη από την κοινωνία, με ταυτόχρονη δήμευση της περιουσίας (ατιμία). Οι ιεροί αυτοί θεσμοί αποδίδονταν στη Δήμητρα Θεσμοφόρο. Την τήρησή τους επέβλεπαν οι θεσμοθέτες, που στην αρχαϊκή Αθήνα ήταν έξι. Φρόντιζαν επίσης για την κωδικοποίησή τους, καθώς και για την καταγραφή και δημοσίευση των αποφάσεων, ώστε να διευκολύνονται οι μελλοντικές κρίσεις. Από τα τέλη του 7ου αιώνα π.X. οι εξουσίες των θεσμοθετών επεκτάθηκαν και οι ίδιοι πλαισίωσαν τον άρχοντα βασιλέα, τον πολέμαρχο και τον επώνυμο άρχοντα αποτελώντας όλοι μαζί τους Εννέα άρχοντες (Πολυδεύκης, Ονομαστικόν 8.85-86). Ο Κλεισθένης πρόσθεσε και έναν γραμματέα, ώστε ο αριθμός των αρχόντων να ανταποκρίνεται στον αριθμό των νέων φυλών. Οι θεσμοθέτες μετά τον Κλεισθένη κινούν ιδιωτικές και δημόσιες αγωγές (δίκες και γραφές) που σχετίζονται με την ασφάλεια και την τάξη στην πόλη, αλλά οι εξουσίες τους είναι πλέον περισσότερο τυπικές και λιγότερο ουσιαστικές.

Στις αρχές του 6ου αιώνα π.X. μεταξύ των μεταρρυθμίσεων που εφάρμοσε ο Σόλωνας ήταν και η συγκρότηση της Ηλιαίας, του πρώτου λαϊκού δικαστηρίου. Μπορούσαν να παρακαθήσουν σε αυτό όλοι οι πολίτες άνω των τριάντα ετών, εφόσον δήλωναν την επιθυμία συμμετοχής τους με το να καταγραφούν στους σχετικούς πίνακες. Η επιλογή τους γινόταν με κλήρωση, για την οποία χρησιμοποιούσαν ειδικό μηχανισμό: το κληρωτήριο. Στην Κλασική περίοδο πέρασε στην Ηλιαία (η οποία αυτή την εποχή για ορισμένους μελετητές είναι απλώς δικαιοδοτική σύνοδος της Εκκλησίας του δήμου) η αρμοδιότητα εκδίκασης όλων των εγκλημάτων που ως τότε υπάγονταν στον Άρειο Πάγο και στους άρχοντες.

Η Βουλή των 500, που ιδρύθηκε από τον Κλεισθένη, είχε κι αυτή ορισμένες δικαστικές εξουσίες σε υποθέσεις τραυματισμών με πρόθεση θανάτωσης (τραύματα εκ προνοίας). Σ' αυτήν ανήκε επίσης ο έλεγχος όλων των αθηναίων αρχόντων, με μόνη εξαίρεση τους στρατηγούς τους οποίους έλεγχε αποκλειστικά η Ηλιαία.